当真空炉可以正常工作后,李元向着身后做了一个手势。
一直心焦等着结果的人,顿时欢呼起来。
李元笑着转身,开启坩埚加热装置。
透过观察窗口,可以看见,坩埚外围的铜管线圈开始变红。
他时不时地控制着真空度。
不一会,穿戴整齐的肖师傅走了进来,开始接管真空度控制工作。
李元专心观察坩埚里的变化。
不久,硅粉开始融化。
直到全部融化为通红的液体,他控制着提拉抓手下落。
当抓手下的籽晶落入液面,顿时一层液体包裹住籽晶。
他控制着电机,籽晶边旋转,边上拉。
一个直径不下3英寸的晶柱被缓缓拉起。
当单晶柱生长到5mm左右时,晶柱慢慢变细,直到断裂。
李元知道,旋转和提拉速度的配合出现了问题。
因为设计之初,就考虑到这种配合问题,所以,其中一个传动齿轮设计成圆锥体。
只有调整这个圆锥体的切入深度,就能够调整旋转和提拉速度。
根据经验,李元调慢一丝。
实验继续。
调整,失败,再调整,再失败。。。
中途虽然也得到过几次1尺多长的单晶柱,但这不是真空提拉炉的设计产能。
实验继续。
直到两天后,李元终于制备出一条4英寸、1.5米高的单晶柱。
当李元打开真空炉,从里面抱下这根单晶柱,其他实验室的人全都跑出来,趴在玻璃上看着热闹。
黄燕开心地拍着李元的后背,她昨天,也加入了真空炉的调试。
“成功了?”
“成功了!”,李元的声音都在颤抖。
黄燕转向大厅,看着已经陷入欢乐海洋中的师兄、师弟、师妹们,哈哈大笑。
龚师兄坐着没动,脸上慢慢留下一粒粒泪水。
当初他意气风发,主抓半导体实验室,短短几年内取得了骄人的成绩。
正当他准备大展拳脚的时候,他的工作被停止。
实验室被关停。
然后就是领导谈话。
他当时是迷茫的,心中一直憋着一股火。
来到这个地下实验室,从此变得岌岌无名,还要听从小师弟的指挥。
他迷茫过,也痛苦过。
在老师的劝导下,最后还是说服自己,从此配合好李元这个小师弟。
直到安装起来真空提拉炉,他一直期盼着成功的那一天。
今天成功了,心中的郁结得到了缓解。
看着蹦蹦跳跳、没心没肺的黄燕,他笑了,也哭了。
无尘实验室里,黄燕慢慢冷静。
她开始专心地清理坩埚,并加入新的硅粉。
在李元的指导下,关闭真空炉,开始抽真空。
1个半小时后,除了真空度需要人工控制,单晶棒的制备完全是自动完成。
结果非常喜人,黄燕利用真空炉,也得到一根同样尺寸的单晶柱。
黄燕激动地和李元击掌相庆。
龚师兄,坐在大厅里,开心地看着他们。
二人走出无尘车间。
“今天早下班,一人一斤肉票,一斤花生油”。
实验室顿时变成了欢乐的海洋。
这些李元都早有准备,就是为的这一天。
大家都离开后,三人坐在大厅。
“下一步干什么?”,黄燕问道。
“切割成晶圆,然后进行打磨和抛光。
然后接着试验氧化炉”。
“氧化工作我负责吧?”,龚师兄道。
“不,氧化工作交给艾老师。师兄你以后的工作主要是设计晶体管和专用芯片。
先设计一款自动控制真空炉的专用芯片,封测交给毕老师。”。
“那你呢?”
按照大家的讨论,所有工艺节点都有人负责,独独没有提到李元自己。
“我想设计一款半导体存储器,现在的磁芯存储器可靠性太差,体积也太大”。
“如果设计成功,确实是计算机的福音”,龚师兄认可道。
“接下来我们是继续制作这个规格的单晶棒,还是探索直径的增加?”,黄燕问道。
“先继续生产吧,先满足那些研究所的使用。
同时你带人固化操作规程,整理真空提拉炉的图纸和文件,便于后续交付”。
“这个工作交给我没有问题,但是需要你、肖师傅的参与”。
“没有问题”。
大家都离开后,李元给上级打了一个电话。
晚上9点时,一辆带着斗篷的卡车驶入变电站。
两根单晶棒仔细包裹,小心翼翼地送走。
当天夜里,某研究所的一个实验室,两根单晶棒放在实验台上。
“这怎么可能!这样规格的单晶棒居然都能买到,太不可思议了!”,某个眼镜男惊诧道。
“是啊,现在国外的技术发展太快了,刚刚发布3英寸的晶圆,这就整出来4英寸的。
照这样的节奏,5英寸、6英寸的晶圆也会陆续推出”,研究员a道。
“哎,这就是差距!”,研究员b道。
“我们什么时候能够用上自己的晶圆?”,研究员c感叹道。
“我听同学讲,华清大学早就研究出了3英寸的晶圆”,研究员d道。
“最后不是辟谣了,是实验室偶尔制备出的一小节,以后再也没有复现过”,研究员a道。
“可惜了,为什么就不能固化工艺?希望他们能够尽快复现”,研究员d道。
“我有一个同学在华清大学半导体实验室,他们现在已经放弃继续研究晶圆,而是开始研究晶体管的设计实现。
他们和香江大学展开了深度合作,据说能够拿到3英寸的晶圆”,研究员c道。
“为什么要放弃?难以理解!”,研究员d道。
“据说是投入太大,不如直接采购晶圆”,研究员c道。
“别人的永远是别人的,晶圆不能成为我们的瓶颈”,研究员d道。
“差距越拉越大,我们3英寸都没有搞明白,对方已经推出了4英寸的”,研究员c道。
“好了,你们不要讨论这些了,想想如何切割、以及后续的工艺流程吧”,一个领导样子的人走了进来。
众人纷纷开始讨论接下来的工作。
“对了,这两根完整的单晶棒得之不易,你们要注意保密”。
众人纷纷点头。
时间回到地下实验室。
自从研制出4英寸单晶棒,地下实验室的工作重心,便放在了如何转化技术上。
肖师傅大部分时间负责接下来的晶圆切割。
虽然刚开始非常不顺利,李元也没有伸手的意思。
现在的实验室已经开始运转,所有人,都需要各司其职。
只有不断的练习,才能够尽快适应。
半个月后,第一片晶圆研磨抛光完成,同时氧化炉也调试完成。