第241章 突破4英寸制程
作者:行道人   四合院之跌宕人生最新章节     
    当真空炉可以正常工作后,李元向着身后做了一个手势。
    一直心焦等着结果的人,顿时欢呼起来。
    李元笑着转身,开启坩埚加热装置。
    透过观察窗口,可以看见,坩埚外围的铜管线圈开始变红。
    他时不时地控制着真空度。
    不一会,穿戴整齐的肖师傅走了进来,开始接管真空度控制工作。
    李元专心观察坩埚里的变化。
    不久,硅粉开始融化。
    直到全部融化为通红的液体,他控制着提拉抓手下落。
    当抓手下的籽晶落入液面,顿时一层液体包裹住籽晶。
    他控制着电机,籽晶边旋转,边上拉。
    一个直径不下3英寸的晶柱被缓缓拉起。
    当单晶柱生长到5mm左右时,晶柱慢慢变细,直到断裂。
    李元知道,旋转和提拉速度的配合出现了问题。
    因为设计之初,就考虑到这种配合问题,所以,其中一个传动齿轮设计成圆锥体。
    只有调整这个圆锥体的切入深度,就能够调整旋转和提拉速度。
    根据经验,李元调慢一丝。
    实验继续。
    调整,失败,再调整,再失败。。。
    中途虽然也得到过几次1尺多长的单晶柱,但这不是真空提拉炉的设计产能。
    实验继续。
    直到两天后,李元终于制备出一条4英寸、1.5米高的单晶柱。
    当李元打开真空炉,从里面抱下这根单晶柱,其他实验室的人全都跑出来,趴在玻璃上看着热闹。
    黄燕开心地拍着李元的后背,她昨天,也加入了真空炉的调试。
    “成功了?”
    “成功了!”,李元的声音都在颤抖。
    黄燕转向大厅,看着已经陷入欢乐海洋中的师兄、师弟、师妹们,哈哈大笑。
    龚师兄坐着没动,脸上慢慢留下一粒粒泪水。
    当初他意气风发,主抓半导体实验室,短短几年内取得了骄人的成绩。
    正当他准备大展拳脚的时候,他的工作被停止。
    实验室被关停。
    然后就是领导谈话。
    他当时是迷茫的,心中一直憋着一股火。
    来到这个地下实验室,从此变得岌岌无名,还要听从小师弟的指挥。
    他迷茫过,也痛苦过。
    在老师的劝导下,最后还是说服自己,从此配合好李元这个小师弟。
    直到安装起来真空提拉炉,他一直期盼着成功的那一天。
    今天成功了,心中的郁结得到了缓解。
    看着蹦蹦跳跳、没心没肺的黄燕,他笑了,也哭了。
    无尘实验室里,黄燕慢慢冷静。
    她开始专心地清理坩埚,并加入新的硅粉。
    在李元的指导下,关闭真空炉,开始抽真空。
    1个半小时后,除了真空度需要人工控制,单晶棒的制备完全是自动完成。
    结果非常喜人,黄燕利用真空炉,也得到一根同样尺寸的单晶柱。
    黄燕激动地和李元击掌相庆。
    龚师兄,坐在大厅里,开心地看着他们。
    二人走出无尘车间。
    “今天早下班,一人一斤肉票,一斤花生油”。
    实验室顿时变成了欢乐的海洋。
    这些李元都早有准备,就是为的这一天。
    大家都离开后,三人坐在大厅。
    “下一步干什么?”,黄燕问道。
    “切割成晶圆,然后进行打磨和抛光。
    然后接着试验氧化炉”。
    “氧化工作我负责吧?”,龚师兄道。
    “不,氧化工作交给艾老师。师兄你以后的工作主要是设计晶体管和专用芯片。
    先设计一款自动控制真空炉的专用芯片,封测交给毕老师。”。
    “那你呢?”
    按照大家的讨论,所有工艺节点都有人负责,独独没有提到李元自己。
    “我想设计一款半导体存储器,现在的磁芯存储器可靠性太差,体积也太大”。
    “如果设计成功,确实是计算机的福音”,龚师兄认可道。
    “接下来我们是继续制作这个规格的单晶棒,还是探索直径的增加?”,黄燕问道。
    “先继续生产吧,先满足那些研究所的使用。
    同时你带人固化操作规程,整理真空提拉炉的图纸和文件,便于后续交付”。
    “这个工作交给我没有问题,但是需要你、肖师傅的参与”。
    “没有问题”。
    大家都离开后,李元给上级打了一个电话。
    晚上9点时,一辆带着斗篷的卡车驶入变电站。
    两根单晶棒仔细包裹,小心翼翼地送走。
    当天夜里,某研究所的一个实验室,两根单晶棒放在实验台上。
    “这怎么可能!这样规格的单晶棒居然都能买到,太不可思议了!”,某个眼镜男惊诧道。
    “是啊,现在国外的技术发展太快了,刚刚发布3英寸的晶圆,这就整出来4英寸的。
    照这样的节奏,5英寸、6英寸的晶圆也会陆续推出”,研究员a道。
    “哎,这就是差距!”,研究员b道。
    “我们什么时候能够用上自己的晶圆?”,研究员c感叹道。
    “我听同学讲,华清大学早就研究出了3英寸的晶圆”,研究员d道。
    “最后不是辟谣了,是实验室偶尔制备出的一小节,以后再也没有复现过”,研究员a道。
    “可惜了,为什么就不能固化工艺?希望他们能够尽快复现”,研究员d道。
    “我有一个同学在华清大学半导体实验室,他们现在已经放弃继续研究晶圆,而是开始研究晶体管的设计实现。
    他们和香江大学展开了深度合作,据说能够拿到3英寸的晶圆”,研究员c道。
    “为什么要放弃?难以理解!”,研究员d道。
    “据说是投入太大,不如直接采购晶圆”,研究员c道。
    “别人的永远是别人的,晶圆不能成为我们的瓶颈”,研究员d道。
    “差距越拉越大,我们3英寸都没有搞明白,对方已经推出了4英寸的”,研究员c道。
    “好了,你们不要讨论这些了,想想如何切割、以及后续的工艺流程吧”,一个领导样子的人走了进来。
    众人纷纷开始讨论接下来的工作。
    “对了,这两根完整的单晶棒得之不易,你们要注意保密”。
    众人纷纷点头。
    时间回到地下实验室。
    自从研制出4英寸单晶棒,地下实验室的工作重心,便放在了如何转化技术上。
    肖师傅大部分时间负责接下来的晶圆切割。
    虽然刚开始非常不顺利,李元也没有伸手的意思。
    现在的实验室已经开始运转,所有人,都需要各司其职。
    只有不断的练习,才能够尽快适应。
    半个月后,第一片晶圆研磨抛光完成,同时氧化炉也调试完成。